하스, EUV 검사장비용 극저열팽창 광학유리 개발…직경 260mm 대형 소재 제조 [뉴스] 글라스 세라믹 소재 전문기업 하스가 EUV 검사장비용 극저열팽창 광학유리 개발 성과를 국책과제 총괄 워크숍에서 공개했다. 하스는 직경 260mm, 두께 150mm급 대형 소재를 제조하고 열팽창계수 0.02~0.1×10⁻⁶/K 수준의 특성을 확보했다. 이번 연구는 202...
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