SK하이닉스 청주 M15X, 베이형 스크러버 도입 [카테고리 설정이 아직되어 있지 않습니다.]
SK하이닉스가 반도체 공정 과정 중 발생하는 온실가스 저감을 위해 스 크러버 기술 개발에 나섰다. /사진=SK하이닉스
[딜사이트경제TV 황재희 기자] SK하이닉스가 2025년 청주 M15X 공장 오픈에 맞춰 베이(Bay)형 스크러버를 도입한다. 온난화 유발 효과가 큰 물질인 과불화화합물을 분해하는 신규 장비로 새 팹의 식각 공정에서 발생하는 온실가스 처리 효율을 높일 것으로 기대되고 있다.
SK하이닉스는 9일 자사 뉴스룸 인터뷰를 통해 국내 사업장의 식각 공정에 쓰이는 스크러버의 온실가스 처리 효율을 99%까지 끌어올릴 수 있는 신기술 개발에 성공했다고 밝혔다.
99%라는 수치는 온실가스 배출량이 계측기가 측정할 수 있는 최소량 이하로 검출...
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